XYステージ
セラミックスエアスライドにリニアモータを使用し、高精度化を実現しました。
テーブルの高さを低く抑え、ビーム、スライダー部にはセラミック材を採用し、軽量化・高精度化を実現。
エアスライドに採用されているエアーパッドは、レーザーによる微細穴加工を施すことで、性能のバラツキや振動、雑音を克服しています。
製作実績例
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